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    四（甲乙胺）鋯

    

    
    

    
    
    
    關鍵詞：

    
    
    

    

    
    
    
    關鍵詞：

    
    
    
    MO源領域、電子級碘甲烷和氫碘酸領域、高科技合成酸領域、多元醇酯類冷凍機油領域

    

    
    
    
    所屬分類：

    
    

    
    
    
    
    


    
    
    
    產品咨詢：

    
    

    

    

    

    
    
    
    
    
    
    
    產品描述

    

    

    
    

    
    
    
	
		
    
			
			
    中文名
    
			    		
			
			
    化學式
    
			    		
			
			
    CAS號
    
			    		
			
			
    英文簡稱
    
			    		
			
			
    英文名
    
			    		
			
			
    類別
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    四（甲乙胺）鋯
    
			    		
			
			
    C12H32N4Zr
    
			    		
			
			
    175923-04-3
    
			    		
			
			
    TEMAZ
    
			    		
			
			
    Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium
    
			    		
			
			
    前驅體
    
			    		
		
    
	    

    


     
    


    
	
		
    
			
			
    四（甲乙胺）鋯（TEMAZ）
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    化學式
    
			    		
			
			
    C12H32N4Zr
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    中文名稱
    
			    		
			
			
     四（甲乙胺）鋯
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    英文名稱
    
			    		
			
			
    Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    CAS No.
    
			    		
			
			
     175923-04-3 
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    分子量
    
			    		
			
			
    323.63
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    應用
    
			    		
			
			
    主要用于CVD、ALD、等離子體增強原子層沉積(PEALD)工藝，是生產ZrO2的前驅體。 ZrO2在45nm晶體管的制備中代替二氧化硅，可以顯著減少漏電量，還是COMS和動態存儲（DRAM）的高k絕緣材料，是目前解決動態存儲和高清顯示技術難題的最優選材料之一；可作阻變存儲器的介質層前驅體；可作鋰離子電池正極包覆沉積前驅體。
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    產品規格
    
			    		
			
			
    6N（99.9999%）
    
			    		
		
    
	    

    


    

    
 
    

    
    
    
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