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    磷酸三甲酯

    

    
    

    
    
    
    關鍵詞：

    
    
    

    

    
    
    
    關鍵詞：

    
    
    
    MO源領域、電子級碘甲烷和氫碘酸領域、高科技合成酸領域、多元醇酯類冷凍機油領域

    

    
    
    
    所屬分類：

    
    

    
    
    
    
    


    
    
    
    產品咨詢：

    
    

    

    

    

    
    
    
    
    
    
    
    產品描述

    

    

    
    

    
    
    
	
		
    
			
			
    中文名
    
			    		
			
			
    化學式
    
			    		
			
			
    CAS號
    
			    		
			
			
    別名
    
			    		
			
			
    英文名
    
			    		
			
			
    產能情況和庫存
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    磷酸三甲酯
    
			    		
			
			
    C3H9O4P
    
			    		
			
			
    512-56-1
    
			    		
			
			
    TMPO
    
			    		
			
			
    Trimethyl phosphate
    
			    		
			
			
    前驅體
    
			    		
		
    
	    

    


     
    


    
	
		
    
			
			
    磷酸三甲酯（TMPO）
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    化學式
    
			    		
			
			
    C3H9O4P
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    中文名稱
    
			    		
			
			
    磷酸三甲酯
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    英文名稱
    
			    		
			
			
    Trimethyl phosphate
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    CAS No.
    
			    		
			
			
     512-56-1
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    分子量
    
			    		
			
			
    140.07
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    應用
    
			    		
			
			
    用于在半導體應用中沉積 PSG 和 BPSG 膜。硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即摻雜了硼和磷的二氧化硅作為第一層金屬前介電質(PMD)以及金屬層間介電質(AVID)在IC制造中有著廣泛的應用。二氧化硅原有的有序網絡結構由于硼磷雜質(B2O3、P2O5 )的加入而變得疏松，在高溫條件下某種程度上具有像液體一樣的流動能力( Reflow )。因此BPSG薄膜具有卓越的填孔能力，并且能夠提高整個硅片表面的平坦化，從而為光刻及后道工藝提供更大的工藝范圍。
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    產品規格
    
			    		
			
			
    9N（99.9999999%）
    
			    		
		
    
	    

    


    

    
 
    

    
    
    
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