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    四（甲乙胺）鉿

    

    
    

    
    
    
    關鍵詞：

    
    
    

    

    
    
    
    關鍵詞：

    
    
    
    MO源領域、電子級碘甲烷和氫碘酸領域、高科技合成酸領域、多元醇酯類冷凍機油領域

    

    
    
    
    所屬分類：

    
    

    
    
    
    
    


    
    
    
    產品咨詢：

    
    

    

    

    

    
    
    
    
    
    
    
    產品描述

    

    

    
    

    
    
    
	
		
    
			
			
    中文名
    
			    		
			
			
    化學式
    
			    		
			
			
    CAS號
    
			    		
			
			
    英文簡稱
    
			    		
			
			
    英文名
    
			    		
			
			
    類別
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    四（甲乙胺）鉿
    
			    		
			
			
    C12H32HfN4
    
			    		
			
			
    352535-01-4
    
			    		
			
			
    TEMAH
    
			    		
			
			
    Ethanamine, N-methyl-,hafnium(4+) salt (4:1)
    
			    		
			
			
    前驅體
    
			    		
		
    
	    

    


     
    


      
    


    
	
		
    
			
			
    四（甲乙胺）鉿 （TEMAH）
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    化學式
    
			    		
			
			
    C12H32HfN4
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    中文名稱
    
			    		
			
			
    四（甲乙胺）鉿 
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    英文名稱
    
			    		
			
			
    Ethanamine, N-methyl-,hafnium(4+) salt (4:1)
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    CAS No.
    
			    		
			
			
     352535-01-4
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    分子量
    
			    		
			
			
    410.9
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    應用
    
			    		
			
			
    主要用于CVD和ALD的前驅體材料，用于沉積鉿的前驅物，制備鉿氧化物薄膜；可以用于COMS和下一代DRAM的高k絕緣材料，廣泛應用于45nm下直至7nm技術等先進CMOS集成電路技術中。其應用于新型阻變/憶阻器件(RRAM)研究中，可展現良好的微縮特性，還可在10nm尺度下保持良好的阻變特性；在鐵電存儲器件(FeRAM)、鐵電場效應晶體管(FeFET)、鐵電負電容晶體管(NC-FET)、鐵電隧道結等新功能器件制造方面表現出良好的微縮特性，為類腦型神經形態計算等變革性技術研究與發展提供新的途徑。還可替代二氧化硅，作為金屬-氧化物-半導體場效應晶體管(MOSFET)的柵極。
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    產品規格
    
			    		
			
			
    6N（99.9999%）
    
			    		
		
    
	    

    


    

    
 
    

    
    
    
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