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    磷酸三甲酯

    

    
    

    
    
    
    關(guān)鍵詞：

    
    
    

    

    
    
    
    關(guān)鍵詞：

    
    
    
    MO源領(lǐng)域、電子級(jí)碘甲烷和氫碘酸領(lǐng)域、高科技合成酸領(lǐng)域、多元醇酯類冷凍機(jī)油領(lǐng)域

    

    
    
    
    所屬分類：

    
    

    
    
    
    
    


    
    
    
    產(chǎn)品咨詢：

    
    

    

    

    

    
    
    
    
    
    
    
    產(chǎn)品描述

    

    

    
    

    
    
    
	
		
    
			
			
    中文名
    
			    		
			
			
    化學(xué)式
    
			    		
			
			
    CAS號(hào)
    
			    		
			
			
    別名
    
			    		
			
			
    英文名
    
			    		
			
			
    產(chǎn)能情況和庫存
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    磷酸三甲酯
    
			    		
			
			
    C3H9O4P
    
			    		
			
			
    512-56-1
    
			    		
			
			
    TMPO
    
			    		
			
			
    Trimethyl phosphate
    
			    		
			
			
    前驅(qū)體
    
			    		
		
    
	    

    


     
    


    
	
		
    
			
			
    磷酸三甲酯（TMPO）
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    化學(xué)式
    
			    		
			
			
    C3H9O4P
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    中文名稱
    
			    		
			
			
    磷酸三甲酯
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    英文名稱
    
			    		
			
			
    Trimethyl phosphate
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    CAS No.
    
			    		
			
			
     512-56-1
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    分子量
    
			    		
			
			
    140.07
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    應(yīng)用
    
			    		
			
			
    用于在半導(dǎo)體應(yīng)用中沉積 PSG 和 BPSG 膜。硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即摻雜了硼和磷的二氧化硅作為第一層金屬前介電質(zhì)(PMD)以及金屬層間介電質(zhì)(AVID)在IC制造中有著廣泛的應(yīng)用。二氧化硅原有的有序網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)由于硼磷雜質(zhì)(B2O3、P2O5 )的加入而變得疏松，在高溫條件下某種程度上具有像液體一樣的流動(dòng)能力( Reflow )。因此BPSG薄膜具有卓越的填孔能力，并且能夠提高整個(gè)硅片表面的平坦化，從而為光刻及后道工藝提供更大的工藝范圍。
    
			    		
		
    
		
    
			
			
    產(chǎn)品規(guī)格
    
			    		
			
			
    9N（99.9999999%）
    
			    		
		
    
	    

    


    

    
 
    

    
    
    
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